Vaakummõõtmine on vaakumtehnoloogia oluline komponent. Vaakumi kraadi mõõtmiseks kasutatavat instrumenti nimetatakse vaakummõõturiks.
Tavaliselt kasutatavate vaakum- ja vaakumsulatusahjude vaakummõõturite hulka kuuluvad termopaariga vaakummõõturid, ionisatsioonivaakummõõturid jne. Nende tööpõhimõte on järgmine:
(1) Termopaari vaakummõõtur
Termopaari vaakummõõtur koosneb tundlikest komponentidest, termopaarmõõturitest ja mõõteriistadest. Termopaari mõõturtoru ühendatakse testitud vaakumsüsteemiga, mille sees on klaastoru väliskest ning küttejuhtmed ja termopaari juhtmed. Temperatuuride erinevuse tõttu termopaari juhtme külma ja kuuma otsa vahel tekib ahelas termoelektriline potentsiaal. Kui küttetraadi pinge jääb konstantseks, on termopaari traadi potentsiaal piiratud küttejuhtme temperatuuriga ning küttetraadi temperatuur on seotud mõõdetava gaasi rõhuga. Madal rõhk, madal gaasi soojusjuhtivus, vähem soojust, mida gaas viib, kõrgem küttetraadi temperatuur ja termopaari juhtme suurenenud termoelektriline potentsiaal; Vastupidi, termoelektriline potentsiaal väheneb. Ahela termoelektrilist potentsiaali mõõdetakse millivoltmeetriga ja millivoldid mõõdikus peegeldavad vaakumi taset. Küttejuhtme pingestabiilsuse tagamiseks ühendati stabiilne toiteallikas. Seega koosneb mõõteriist termoelektrilise potentsiaali mõõtmiseks mõeldud millivoltmeetrist ja reguleeritud küttejuhtmega stabiliseeritud toiteallikast.
(2) Ionisatsioonivaakummõõtur
Seda tüüpi vaakummõõtureid kasutatakse peamiselt kõrge vaakumitaseme mõõtmiseks. Madala rõhu ja tugevate gaaside puhul on gaasimolekulide ioniseerimisel tekkivate positiivsete ioonide arv otseselt võrdeline gaasirõhuga. Erinevate ioniseerimismeetodite kohaselt nimetatakse vaakummõõturit, mis kasutab gaasi ioniseerimiseks elektronide emiteerimiseks kuuma katoodi, kuuma katoodiga ionisatsioonivaakummõõturit; Nende hulgas koosneb kuumkatoodiga ionisatsioonivaakummõõtur kuumkatoodiga mõõteriistast ja mõõteriistadest. Mõõtevahend koosneb reguleeritud töötavast toiteallikast, emissioonivoolu stabilisaatorist, ioonvoolu mõõtevõimendist ja muudest komponentidest. Kuuma katoodi ionisatsioonimõõtur on ühendatud testitava vaakumsüsteemiga. Kuuma katoodi ionisatsioonimõõtur on transistor, mille sees on katood, pais ja kollektor. Koguge polaarpotentsiaal katoodelektronegatiivse potentsiaali suhtes; Väraval on katoodi suhtes positiivne potentsiaal. Ionisatsioonimõõdiku elektrifitseerimisel ja kuumutamisel kiirgab katood elektrone, mis väravani jõudmise käigus põrkuvad gaasimolekulidega, mille tulemuseks on positiivsete ioonide ja elektronide ionisatsioon. Kui emissioonivool on konstantne, on positiivsete ioonide arv päevas otseselt võrdeline mõõdetud gaasi rõhuga. Pärast positiivsete ioonide kogumist kogumiselektroodiga ja võimendamist mõõteahelaga saab mõõdetava vaakumi kraadi (kastiahi) välja lugeda näiduelektriarvestiga.
(3) Komposiitvaakummõõtur
Tavaliselt ei saa madala ja kõrgvaakumi mõõtmiseks kasutada ühte vaakummõõturit, vaid tuleks kasutada liitvaakummõõturit, kusjuures sagedamini kasutatakse ionisatsiooni ja termopaari komposiitvaakummõõtureid. Selle mõõtmisvahemik on 13.33-666,6 × 10-8Pa. Madala vaakumi mõõtmine (10-10-10-3) x 133,32 Pa, kasutades termopaari vaakummõõturit; Ionisatsioonivaakummõõtur mõõdab kõrgvaakumit 133,32 × 10-3-666,6 × 10-8Pa. Komposiitvaakummõõtur on varustatud termopaarmõõturi ja ionisatsioonimõõturiga, mis on vastavalt ühendatud vaakumsüsteemiga. Kahte mõõturit saab eraldi nupu abil soojendada ja neid saab kasutamiseks valida.